如何给涡轮分子泵充气？
(1)干什么要充气？
当涡轮分子泵开放或运行极慢时，泵将不复有剩余大的压缩比（泵内压力梯度）来阻止前级侧存在的碳氢复合物经过涡轮叶片向真空室继续返流。这种景象称作反放散或分子返流。在动态条件下，整个零碎的压力平衡时，在前级弹道侧，油的分压力通常为10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）最初也会波及到泵的出口处。当泵开放时，适当地给泵内充气是掌握油分子返流，维持真空室内无碳氢复合物的一种无效的措施。当停泵后，碳氢复合物返流很快经过泵进入真空室内，那末零碎仍维持在真空状态下，碳氢复合物将会粘在肮脏的叶片和真空室的名义上。在随后再运行该零碎时，将极难抽除粘着的碳氢复合物。另一上面，在涡轮分子泵停留运行时，那末给泵充入干涩氮气或干涩大气，则该干涩气体将给裸露的名义提供一层气体掩护层，而且在零碎充气后，返流的碳氢复合物因为与充入的气体混合起来，从而它的粘着威力很弱，在混合气体中碳氢复合物所占对比极小，鄙人一次偷空时也很快就能被抽走。
(2)提早充气：
固然在泵割断电源后就应给泵充气已被大家所承受，且很寻常，然而，涡轮分子泵在切断电源后，泵要匆匆地加速，若提早多少秒或多少秒钟再充气会更好一些。在泵加速到它暇时进度的30%～50%期间，此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能无效地使真空室处在真空状态下且能预防碳氢复合物的返流。提早充气也能使阀门有剩余的工夫开放，在时常停电的状况下，提早充气是很有用的。为了提早充气，前级真空务必维持在1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）规模之内，因而在涡轮分子泵与前级泵之间务必有一个真空阀，或者在前级泵外部装一个掌握阀，该阀应在电源中止时，使涡轮分子泵与前级泵隔来到来。要不，经过前级泵、前级弹道被充气，并招致了油的净化。
(3)在何处充气？
在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢复合物立即经过涡轮分子泵流入真空室。另一上面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达成以肮脏气体遮盖名义的目标。并使气旋流向涡轮分子泵（自上而下），能临时阻止、提早碳氢复合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间继续旁边充气，它和在吸入侧充气掌握碳氢复合物返流简直同样无效。在超高真空零碎中，在压缩级充气尤其优惠。所以旁边充气不须要价钱低廉的非金属密封的可烘烤的充气缸。
(4)怎么充气？
那末涡轮分子泵置于一个肮脏、干涩的四周条件中，就能够充室内的大气。然而充气出口的地位务必细心取舍。那末充气出口地位凑近油封式旋片泵的排气口地位之上，则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空零碎造成净化，而且那末大气是湿的，为了缩小当前再抽气的工夫，此外要充入干涩氮气或通过干涩器过滤的大气。另外也不定然总是充入大气压力下的气体，若充入气体的压力为多少Torr（多少hpa）的干涩气体就足以能掌握碳氢复合物的返流。