涡轮分子泵抽气零碎的根本操作步骤：
一个装有共同粗抽管路的涡轮分子泵抽气零碎的操作步骤与放散泵抽气零碎类似。在结束粗抽先前，高

真空阀和粗抽阀是关着的，而前级弹道阀是翻开的。
1、率先开放前级阀，启动粗抽泵(兼前级泵)，翻开粗抽阀结束对真空室继续抽气。在真空室内的压力降

到150~100Pa时开放粗抽阀，翻开前级弹道阀，
2、再启动涡轮分子泵(需先接通结冰零碎)。那末分子泵出口处装有液氮冷阱，则应在泵减速到额外转速

后(正常需5~10min)加注液氮。粗抽零碎的配置随真空室的体积的大小而有所相反。对500L/s或更小的涡

轮分子泵来说，可采纳一台双级旋片泵；1000L/s之上的涡轮分子泵则采纳以电泵为前级泵的罗茨泵机组

。在压力为100到150Pa时开放粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵，那样做会导致菲薄而

滞后的刹时加速，但这对抽气并无莫须有。正如放散泵抽气零碎那么，涡轮分子泵零碎中的最重要的物

质是蒸气，其抽气工夫将受液氮冷阱抽速的操纵。那末不必液氮冷阱，那么某个零碎抽除蒸气的进度就

会比同样抽速的无冷阱放散泵略慢一些。在高真空抽气内中的起始阶段，泵的很大的一经烘烤的内名义

会吸附水，而后再在较低的压力下从新开释进去。这种效应在无阀门的零碎中更为显然，所以它可能比

未裸露在压力高于150Pa的大气条件的有阀门的零碎吸附更多的蒸气。
3、零碎停机时，先开放高真空阀，那末有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达成失调热度后，关

掉前级弹道阀，再切断涡轮分子泵马达的电源使分子泵的旋子加速。正常来说，到泵旋子彻底停留须要

非常钟或更长的工夫。在分子泵旋子加速期间，来自前级弹道的碳氢复合物和涡轮分子泵的光滑油蒸气

会迅速地向泵的进气口上方海域放散。为了预防电泵油蒸气和涡轮分子泵光滑油蒸气的返流，在切断涡

轮分子泵马达的电源后，要用一股干涩的反向气旋对分子泵继续放气。比如，无须在泵旋子进度上升到

最大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在旋子组件上部陆续充入氩气或氮气，直到泵内压力达

成大气压。经过从阀门3(见图1)充入气体就可适当地实现这一操作。当涡轮分子泵以额外进度运行时，

不应时常充入压力为大气压的气旋。那样做对轴的寿数是周折的。以后级弹道阀开放后，即可关掉电泵

零碎，并用放气缸对电泵内继续放气。停机后应即时关掉结冰水以预防外部冷凝。在畸形作业时，可把

水温调节到略高于露点来肃清泵体内部可能构成的冷凝物。启动零碎要先接通结冰水流，翻开前级弹道

阀门，再同声启动电泵和涡轮分子泵。在泵减速到额外转速(正常为5到10min)后，就可加注液氮冷阱。

尔后就可按上节所说明的步调对真空室继续抽气。
4、上面一种所给出的是不必高真空阀门的抽气零碎的操作要比有阀门的抽气零碎简便得多。操作时：先

翻开结冰水和前级弹道阀，并同声启动电泵和涡轮分子泵。如粗抽泵取舍切当使真空室的粗抽工夫等于

减速工夫，那么真空零碎就能在没有泵油蒸气返流的状况下把真空室抽到其本底压力。
5、无阀门零碎在放气和停机：
1）率先开放前级弹道阀，等泵转速上升到最大转速的50%时再在泵的上方充入干涩气体。当零碎充到大

气压时应开放放气缸门，要不会造成真空室过压。
2）而后按上述说明的步骤关掉电泵并停掉结冰水。没有单设粗抽管路的涡轮分子泵零碎的操作：先翻开

分子泵结冰零碎和前级管路阀，并同声启动前级(粗抽)电泵和涡轮分子泵。那末粗抽泵(前级泵)取舍切

当，使真空室的粗抽工夫等于分子泵的减速(启动)工夫，则真空零碎就能在没有泵油蒸汽返流的状况下

把真空室抽到其本底压力。
3）该零碎在停机前，要先开放前级管路阀，而后切断分子泵电源和开放结冰水。等分子泵转速上升到额

外作业转速的一半时，再在泵的出口处充入干涩气体，当零碎充到大气压力后，应开放放气缸门。依据

须要在前级阀开放后的任何时机停掉前级泵零碎。