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真空泵无关动词术语引证
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关键字:磁力泵 | 磁力驱动泵 | 氟塑料磁力泵 | 不锈钢磁力泵
1、真空的界说
真空零碎指低于该镇区大气压的稀簿气体状态。
2、真空度
在于真空状态下的气体稀簿水平,通罕用“真空度高”和“真空度低”来示意。真空度高示意真空度“好”的意思,真空度低示意真空度“差”的意思。
3、真空度单位
通罕用托(Torr)为单位,近年国内上取用帕(Pa)作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
4、托与帕的转换
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、均匀自在程
作无规定热静止的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的均匀间隔,用符号“λ”示意。
6、流量
单位工夫流过肆意截面的气体量,符号用“Q”示意,单位为帕 升/秒(Pa L/s)或托 升/秒(Torr L/s)。
7、流导
示意真空弹道经过气体的威力。单位为升/秒(L/s),在稳固状态下,弹道流导等于弹道流量除以弹道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2-P1)
8、压力或压强
气体分子作用来容器壁的单位面积上的力,用“P”示意。
9、规范大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。
10、极限真空
真空容器经充足抽气后,稳固在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12时辰炼气,再经12时辰抽真空,最初一个时辰每隔10秒钟测量一次,取其10次的均匀值为极限真空值。
11、抽气速率
在定然的压强和热度下,单位工夫内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即Sp=Q/(P-P0)
12、热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的热度无关,元件的热度又与气体的热传播无关的原理来测量真空度的真空计。
13、水解真空计(又收热负极水解计)
由筒状收集极,栅网和坐落栅网核心的真丝形成,筒状收集极在栅网里面。热负极发射电子水解气体分子,离子被收集极收集,依据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计
由热偶真空计与热负极水解真空计组成,测量规模从大气~10-5Pa。
15、冷负极水解计
阳极筒的两端有一对负极板,在附加磁场作用,阳极筒内构成潘宁尖端放电产生离子,依据负极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
16、电阻真空计
利用加热元件的电阻与热度无关,元件的热度又与气体传播无关的原理,经过电桥通路来测量真空度的真空计。
17、麦克劳真空计(压缩式真空计)
将待测的气体用汞(或油)压缩到一极小体积,而后比拟开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定理间接算出气体压强的一种相对真空计。
18、B-A规
这是一种负极与收集极倒置的热负极水解规。收集极是一根细丝,放在栅网核心,真丝放在栅网里面,因此缩小软X射线莫须有,蔓延测量上限,可测超高真空。
19、水环真空泵
泵的叶轮旋子缭绕而产凉水环。因为旋子偏颇缭绕而使水环与叶片间体积产生周期性改观而继续抽气的机械真空泵。
20、往返真空泵
利用鞲鞴的往返静止而继续抽气的机械真空泵。
21、油封机械真空泵
用油来维持密封的机械真空泵,可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。
22、罗茨真空泵
存在一对同步高速缭绕的鞋底形旋子的机械真空泵,此泵使不得够共同抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
23、涡轮分子真空泵
有一高速缭绕的叶轮,当气体分子与高速缭绕的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
24、油放散真空泵
放散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下,气体分子一直地向蒸流中放散,并被蒸汽带向泵入口处逐级被压缩后再由前级泵排除。
25、高温真空泵
利用20K以次的高温名义凝聚吸附气体的真空泵。
26、冷阱(水冷隔板)
置于真空容器和泵之间,用来吸附气体或捕集油蒸汽的安装。
27、气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,并装上调节阀,当翻开阀并调节入器量,旋子转到某一地位,大气就经过此孔掺入压缩室以升高压缩比,从而使大全体蒸汽不致凝聚而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
28、真空冷冻干涩
真空冷冻干涩,也称升华干涩。其原理是将资料冷冻,使其含有的水份变成冰碴,而后在真空下使冰升华而达成干涩目标。
29、真空蒸镀
在真空条件中,将资料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。
30、真空干涩
利用真空条件下沸点低的特点来干涩物件的步骤。
31、真空零碎罕用姓名
(1)主泵:在真空零碎中,用来失掉所须要真空度来满足一定工艺务求的真空泵,如真空镀膜机中的油放散泵就是主泵。
(2)前级泵:用来维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从大气压下结束抽气,并将零碎压力抽到另一真空泵结束作业的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空零碎中,器量很时辰,使不得无效天时用前级泵。为此配置一种定量较小的辅助泵来维持主泵作业,此泵叫维持泵。如放散泵入口处配一台中型旋片泵,就是维持泵。 |
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